TC-Wafer校準(zhǔn)儀

簡(jiǎn)要描述：TC-Wafer校準(zhǔn)儀是一款專注晶圓溫場(chǎng)均勻性測(cè)量的儀器，適配市場(chǎng)上大多數(shù)主流廠家生產(chǎn)的RTP設(shè)備。

產(chǎn)品型號(hào)：TC-20
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2025-07-02
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TC-Wafer校準(zhǔn)儀，是一款專注晶圓溫場(chǎng)均勻性測(cè)量的儀器。

適配市場(chǎng)上大多數(shù)主流廠家生產(chǎn)的RTP設(shè)備。

特殊情況可定制以適配。

產(chǎn)品特點(diǎn)（部分）

1.測(cè)溫準(zhǔn)確溫度偏差在±1.1℃以內(nèi)、采集周期為200ms，能準(zhǔn)確測(cè)量晶圓溫廠均勻性；

2.使用便捷儀器集成度高，即插即用。測(cè)試記錄完整數(shù) 據(jù)，并能自動(dòng)生成測(cè)試報(bào)告，

支持U盤、藍(lán)牙、無線網(wǎng) 絡(luò)等多種方式導(dǎo)出數(shù)據(jù)和報(bào)告；

3.顯示直觀最多支持20路實(shí)時(shí)測(cè)量(20路以上可定制)，顯示實(shí)時(shí)點(diǎn)位圖及溫度分布圖，

可在使用過程中實(shí)時(shí)觀察各點(diǎn)溫度變化；

4.功能* 10000條歷史數(shù)據(jù)存儲(chǔ)量，能以圖表形式調(diào)閱歷史溫度和均勻性數(shù)據(jù)。

可做同一臺(tái)設(shè)備不同時(shí)間段、以及不同設(shè)備同一配方的數(shù)據(jù)對(duì)比；

5.便攜易維護(hù) 便攜一體化設(shè)計(jì)，配備磁吸支架可貼靠于RTP表面， Type-C接口

65W速充，可迅速更換TC- wafer。

TC-Wafer校準(zhǔn)儀應(yīng)用功能：

1.半導(dǎo)體制造工藝調(diào)校

2.RTP設(shè)備的測(cè)試、驗(yàn)證

3.TC-Wafer的測(cè)試、驗(yàn)證

4.相關(guān) 晶圓熱處理設(shè) 備的測(cè) 試、驗(yàn) 證 , 如

CVD,PVD,Photo,等等;

5.使用范圍：室溫~ 1200℃(更高溫可定制)

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