適用于最大 150 毫米晶圓測(cè)試的 SPS-1000 系列是美國(guó)MicroXac手動(dòng)探針臺(tái)的縮小版，仍然保留了更高價(jià)格系統(tǒng)的所有相關(guān)規(guī)格。該系統(tǒng)小巧、符合人體工程學(xué)且使用方便，是半導(dǎo)體器件和電路的實(shí)驗(yàn)室測(cè)試和表征的理想選擇。全手動(dòng)載物臺(tái)組件包含精密交叉滾子軸承，運(yùn)動(dòng)范圍為 100mm x 100mm 或 150mm x 150mm（或更大）。額外的預(yù)載滑軌可輕松裝卸晶圓或內(nèi)含樣品,通過(guò)粗調(diào)和微調(diào)以及 12.7 毫米、25 毫米或 40 毫米的范圍方便地手動(dòng)控制壓板 光滑的磁性鋼壓板最多可容納10 個(gè)磁性或真空定位器。具有高達(dá) 200 毫米工作距離和高強(qiáng)度 LED 照明的高質(zhì)量立體變焦顯微鏡在 3.5 倍至 180 倍的放大倍率范圍內(nèi)提供出色的視覺(jué)效果。

適用于最大 200 毫米晶圓測(cè)試的 SPS-1200 系列是美國(guó)MicroXac手動(dòng)探針臺(tái) SPS-2200的縮小版，它仍然保留了更高價(jià)格系統(tǒng)的所有相關(guān)規(guī)格。小巧、符合人體工程學(xué)且使用方便的系統(tǒng)是半導(dǎo)體器件和電路的實(shí)驗(yàn)室測(cè)試和表征的理想選擇。全手動(dòng)載物臺(tái)裝配，帶精密交叉滾子軸承，運(yùn)動(dòng)范圍為 200mmx200mm。包含一個(gè)預(yù)載滑軌，可輕松裝載和卸載晶圓或樣品。方便的手動(dòng)控制壓板，粗調(diào)和精調(diào)范圍為 12 毫米或 25 毫米。光滑的磁性鋼壓板最多可容納 10 個(gè)磁性或真空定位器。具有高達(dá) 200 毫米工作距離和高強(qiáng)度 LED 照明的高質(zhì)量立體變焦顯微鏡在 3.5 倍至 180 倍的放大倍率范圍內(nèi)提供出色的視覺(jué)效果。

SPS-2000 系列是 MicroXact 手動(dòng)探針臺(tái)，設(shè)計(jì)靈活且易于使用。我們的系統(tǒng)提供了一定水平的高性能，使這些站點(diǎn)獨(dú)樹(shù)一幟。憑借多種可用選項(xiàng)，包括熱晶圓卡盤(pán)、立體變焦、復(fù)合或數(shù)字顯微鏡以及全射頻外殼，該系統(tǒng)的靈活性幾乎是無(wú)限的。全手動(dòng)載物臺(tái)裝配，帶精密交叉滾子軸承，運(yùn)動(dòng)范圍為 100mm x 100mm（或更大）。還提供額外的預(yù)加載滑塊，以便輕松加載和卸載晶圓或樣品。手動(dòng)控制壓板，粗調(diào)和精調(diào)范圍為 12.7 毫米（可根據(jù)要求提供更大范圍）。光滑的粉末涂層鋼板可容納多達(dá) 10 個(gè)磁性或真空定位器。具有高達(dá) 200 毫米工作距離和高強(qiáng)度 LED 照明的高質(zhì)量立體變焦顯微鏡在 3.5 倍至 180 倍的放大倍率范圍內(nèi)提供出色的視覺(jué)效果。

SPS-2200 系列是 MicroXact 手動(dòng)探針臺(tái)，用于測(cè)試最大 200 毫米的晶圓，設(shè)計(jì)靈活且易于使用。我們的系統(tǒng)提供了一定水平的高性能。由于提供了多種選擇，該系統(tǒng)的靈活性幾乎是無(wú)限的。全手動(dòng)載物臺(tái)裝配，帶精密交叉滾子軸承，運(yùn)動(dòng)范圍為 225mm x 225mm。用于輕松裝載和卸載晶圓或樣品的預(yù)載滑塊包含在基本模型中。手動(dòng)控制壓板，粗調(diào)和精調(diào)范圍為 12.5 毫米（可根據(jù)要求提供更多范圍）。光滑的粉末涂層鋼板可容納多達(dá) 10 個(gè)磁性或真空定位器。具有高達(dá) 200 毫米工作距離和高強(qiáng)度 LED 照明的高質(zhì)量立體變焦顯微鏡在 3.5 倍至 180 倍的放大倍率范圍內(nèi)提供出色的視覺(jué)效果。