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SPS-1000，SPS-2000和SPS-2200系統(tǒng)是MicroXact首要的手動(dòng)探針臺(tái)，設(shè)計(jì)靈活且易于使用。這些手動(dòng)探針系統(tǒng)的高性能和經(jīng)濟(jì)性使它們屬于自己的一類。憑借高達(dá)200mm的晶圓功能，DC或RF探頭和可選的熱卡盤(pán)以及各種屏蔽選項(xiàng)，我們的探針臺(tái)可用于廣泛的應(yīng)用，例如故障分析，可靠性測(cè)試，IV / CV測(cè)試，低目前的測(cè)試，微波和射頻表征等等。
隨著半導(dǎo)體變得越來(lái)越小和越來(lái)越復(fù)雜，有必要更密切地監(jiān)控和控制生產(chǎn)，特別是在該過(guò)程的更上游。使用MicroXact的半自動(dòng)探針臺(tái)進(jìn)行的晶圓級(jí)可靠性測(cè)試通過(guò)一系列壓力測(cè)試收集數(shù)據(jù)，以識(shí)別可能影響器件長(zhǎng)期可靠性的不規(guī)則性。盡管并非總是需要，但在晶片級(jí)可靠性測(cè)試之后可以進(jìn)行進(jìn)一步的和廣泛的故障分析。 系統(tǒng)構(gòu)建在一個(gè)重型，通用的平臺(tái)上，能夠配置為處理各種探測(cè)應(yīng)用。
SPS 2600-HP，SPS 2800-HP和SPS 12000-HP系列系統(tǒng)是MicroXact的半自動(dòng)探針臺(tái)，設(shè)計(jì)靈活，易于使用，可用于高效設(shè)備表征，晶圓級(jí)可靠性測(cè)試和故障分析。這些半自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于支持多200mm晶圓的手動(dòng)和半自動(dòng)探測(cè)。
MicroXact的半自動(dòng)探針臺(tái)提供多種選擇，包括加熱/冷卻晶圓卡盤(pán)，標(biāo)準(zhǔn)或數(shù)字顯微鏡以及可編程平臺(tái)分度，為您的所有高效設(shè)備表征提供經(jīng)濟(jì)高效且易于使用的解決方案。晶圓級(jí)可靠性測(cè)試需求。這些半自動(dòng)探針臺(tái)有三種選擇（標(biāo)準(zhǔn)，高精度和高速）。
LCS-4000系列分析探針臺(tái)配有激光切割系統(tǒng) 帶有集成激光切割系統(tǒng)的LCS-4000探針臺(tái)為用戶提供了半導(dǎo)體診斷切割，失效分析，修整，標(biāo)記和頂層去除的大靈活性。所有這些功能都可以在微觀層面上進(jìn)行，所有這些都在這一系統(tǒng)上進(jìn)行，這提供了非常易于使用的高水平性能。
A4P四點(diǎn)探針自動(dòng)電阻率測(cè)繪系統(tǒng) A4P系列晶圓電阻率映射器使用經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，可以快速，準(zhǔn)確，可靠地測(cè)量樣品電阻率分布。MicroXact的四點(diǎn)探針通過(guò)使電流通過(guò)四點(diǎn)探頭的外部點(diǎn)并測(cè)量?jī)?nèi)部點(diǎn)的電壓來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體晶圓層的平均電阻。然后可以通過(guò)將薄層電阻乘以薄膜的厚度來(lái)找到電阻率的值，即賦予其電阻的材料的性質(zhì)。
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